島津EPMA-8050G場發(fā)射電子探針

[性能特點(diǎn)]

● 的空間分辨率

電子探針可達(dá)到的級別的二次電子圖像分辨率3nm（加速電壓30kV），分析條件下的二次電子分辨率。

（加速電壓10kV時(shí)20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

● 大束流超高靈敏度分析

實(shí)現(xiàn)3.0μA（加速電壓30kV）的大束流。可超高靈敏度進(jìn)行超微量元素的面分析。并且全束流范圍無需更換物鏡光闌。

● 高性能X射線譜儀

秉承島津電子探針頗具優(yōu)勢的52.5°X射線取出角。采用4英寸羅蘭圓半徑的分光晶體兼顧高靈敏度與高分辨率?？赏瑫r(shí)搭載5通道高性能X射線譜儀。分析性能更勝*。

● 全部分析操作簡單易懂

全部操作僅靠一個(gè)鼠標(biāo)就可進(jìn)行的*可操作性。追求「易懂」的人性化用戶界面。搭載導(dǎo)航模式，自動(dòng)指引直至生成報(bào)告。

◎?qū)崿F(xiàn)微區(qū)超高靈敏度分析的*技術(shù)

1 高亮度肖特基發(fā)射體

島津場發(fā)射電子槍采用的肖特基發(fā)射體比一般傳統(tǒng)SEM使用的發(fā)射體針尖直徑更

大，輸出更高。即可以保持其高亮度，還可提供高靈敏度分析*的穩(wěn)

定大電流。

2 EPMA電子光學(xué)系統(tǒng)

電子光學(xué)系統(tǒng)，聚光透鏡盡可能的接近電子槍一側(cè)，交叉點(diǎn)不是靠聚光透鏡

形成，而是由安裝在與物鏡光闌相同位置上，具有獨(dú)立構(gòu)成與控制方式的可

變光闌透鏡來形成交叉點(diǎn)的（：第4595778號）。簡單的透鏡結(jié)

構(gòu)，既能獲得大束流，同時(shí)全部電流條件下設(shè)定合適的打開角度，將電子

束壓縮到細(xì)。當(dāng)然是不需要更換物鏡光闌的。

3 超高真空排氣系統(tǒng)

電子槍室、中間室、分析腔體之間分別安裝有篩孔（orifice）間隔方式的2

級差動(dòng)排氣系統(tǒng)。中間室與分析腔體間的氣流孔做到小，以控制流入中

間室的氣體，使電子槍室始終保持著超高真空，確保發(fā)射體穩(wěn)定工作。

4 高靈敏度X射線譜儀

島津場發(fā)射電子探針多可同時(shí)搭載5通道兼顧高靈敏度與高分辨率的4英寸X射線譜儀。

52.5°的X射線取出角在提高了X射線信號的空間分辨率的同時(shí)，又可減小樣品對X射線

的吸收，實(shí)現(xiàn)高靈敏度的分析。

[應(yīng)用舉例]

1.   島津場發(fā)射電子探針EPMA-8050G檢測：無鉛焊錫焊料中Ag與Cu的分布

對無鉛焊錫焊料中大量含有Ag的區(qū)域進(jìn)行面分析的數(shù)據(jù)。（加速電壓：10kV；照射電流：20nA）
Ag的X射線像中顆粒形狀與BSE像（COMPO）的顆粒形狀*。直徑約0.1μm的Ag顆粒也清晰可辨（紅色虛線圈出）。同時(shí)可確認(rèn)Cu顆粒的存在（黃色虛線圈出）。