| 品牌 | 合肥科晶 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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| 儀器種類 | 管式爐 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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2000℃溫度可控型感應(yīng)加熱爐
警告:
使用此儀器時(shí)，熔煉必須在≤0.02Mpa 的流動(dòng)氬氣下進(jìn)行，流量小于200ml/m，需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa，操作儀器前，必須仔細(xì)閱讀說(shuō)明書(shū)，而且操作人員需帶防護(hù)面罩。實(shí)驗(yàn)升溫過(guò)程中需時(shí)刻注意石英管內(nèi)的氣壓，若氣壓超過(guò)安全值，會(huì)引起石英管開(kāi)裂，法蘭蹦出甚至造成人身傷害。
2000℃溫度可控型感應(yīng)加熱爐技術(shù)參數(shù)
高頻感應(yīng)加熱設(shè)備 
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| - 工作電壓: 三相380VAC 50Hz (需60A空氣開(kāi)關(guān)）
- 大輸入功率: 25KW
- 震蕩頻率: 30 - 80 kHz
- 循環(huán)比: 80%
- 感應(yīng)線圈: 150mm(OD) x 140mm(ID) x 90mm(H)
- 保護(hù)系統(tǒng)：帶有自動(dòng)水壓、過(guò)熱、功率過(guò)高保護(hù)
- 耐火材料：配有多塊采用氧化鋁制作的耐火材料，用于支撐石墨坩堝，和防止熱量輻射
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溫度控制器& 熱電偶 
| - 工作電壓: 208~240V AC, 單相
- 采用PID方式控溫 ，可設(shè)置30段升降溫程序
- 設(shè)備帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能
- 控溫精度：+/- 3 ºC
- 采用C型熱電偶,探頭伸入到石墨坩堝內(nèi)
- 長(zhǎng)期使用溫度：1900ºC
- 高工作溫度：2000ºC（＜5小時(shí)）
- 大升溫速率:
10ºC/second (1000ºC-1200ºC)
8ºC/second (1200ºC~1500ºC)
3ºC~6ºC/second (1500ºC~2000ºC)
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石墨坩堝和耐火磚 
| - 高純石墨坩堝: 50mm(OD)×40mm(ID)×110mm ,坩堝是用來(lái)感應(yīng)加熱和熔化金屬
- 大容量：樣品所占容積應(yīng)該是石墨坩堝容積的1/2
- 可選:為對(duì)晶片熱處理，可定制石墨樣品臺(tái)，大可放置晶片尺寸為1.5'' O.D x 1/8'' T，因?yàn)槭珜?dǎo)熱率非常高，所以可使放置的晶片受熱均勻
 - 保溫層：石墨坩堝外環(huán)繞三層隔熱材料，從里到外分別為石墨氈—氧化鋁—高溫氈，總厚度為32mm，石墨保溫毯（可耐溫2200℃）氧化鋁毯（耐溫1700℃）
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密封法蘭與石英管 | |
防腐型真空計(jì)（可選）
| 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測(cè)量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換，量程可到3.8x10E-5 torr |
循環(huán)水冷機(jī)
| - 溫度范圍: 5 - 30°C
- 水流速： 16L/min
- 水箱容積: 12 Liters 采用不銹鋼制作
- 水壓≥0.1MPa，流量≥5L/Min
- 注: 本公司建議使用的冷卻液作為冷卻介質(zhì)
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真空泵
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移動(dòng)爐架
| - 結(jié)構(gòu): 鋼框架結(jié)構(gòu)
- 800mm×600mm的移動(dòng)爐架可方便移動(dòng)電感應(yīng)加熱器和帶有法蘭的石英管
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產(chǎn)品尺寸
| - 感應(yīng)加熱器:520mm x 520mm x 450mm
- 水冷機(jī)組: 460mm x 475mm x 762mm
- 移動(dòng)爐架： 600mm(L) x 800mm(W) x 597mm(H)
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質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期，終身維護(hù)，不包括石英管、硅膠密封圈和石墨坩堝損耗件） |
注意 | - 為了保護(hù)石墨坩堝和C型熱電偶，要不斷通入惰性氣體
- 請(qǐng)點(diǎn)擊這里了解感應(yīng)加熱的原理
- 如果您對(duì)感應(yīng)加熱和熔煉的東西不了解，可以咨詢我們的工程師
- 此設(shè)備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）系統(tǒng)，請(qǐng)點(diǎn)擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯(lián)系我們
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凈重 | 120Kg |
